Detalles de autor/a

Alemán-Arce, Miguel Ángel, Centro de Nanociencias y Micro y Nanotecnologías-Instituto Politécnico Nacional, México

• Superficies y Vacío Vol. 31 Núm. 3 (2018) Artículos de Investigación
  Surface micromachining of a micro electromechanical inertial transducer based on commercially available Floating Gate Transistor technology
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