Detalles de autor/a

Linares Aranda, Mónico, Lab. de Innovación de Sistemas Micro-Electromecánicos, Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica, México

• Superficies y Vacío Vol. 30 Núm. 3 (2017) Artículos de Investigación
  A modular and generic monolithic integrated MEMS fabrication process
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