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Effects of hydrogen dilution and B-doping on the density of Si–C bonds and properties of a-SixC1-x:H films

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Publicado por: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales, A.C.

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Gustavo A. Madero, 07360, Ciudad de México, México.

Tel: (+52) 5557473828

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