Thermoelectrical characterization and comparative analysis of three finite element models of a MEMS thermal sensor | Superficies y Vacío

Thermoelectrical characterization and comparative analysis of three finite element models of a MEMS thermal sensor

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Publicado por: Sociedad Mexicana de Ciencia y Tecnología de Superficies y Materiales, A.C.

Av. Instituto politécnico Nacional 2508, San Pedro Zacatenco

Gustavo A. Madero, 07360, Ciudad de México, México.

Tel: (+52) 5557473828

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