Munguia Cevantes, J. E., J. V. Méndez Méndez, H. F. Mendoza León, M. Ángel Alemán Arce, S. Mendoza Acevedo, and H. Estrada Vázquez. “Si3N4 Young’s Modulus Measurement from Microcantilever Beams Using a Calibrated Stylus Profiler”. Superficies Y Vacío, vol. 30, no. 1, Mar. 2017, pp. 10-13, doi:10.47566/2017_syv30_1-010010.