Munguia Cevantes, J. E., Méndez Méndez, J. V., Mendoza León, H. F., Alemán Arce, M. Ángel, Mendoza Acevedo, S. and Estrada Vázquez, H. (2017) “Si3N4 Young’s modulus measurement from microcantilever beams using a calibrated stylus profiler”, Superficies y Vacío, 30(1), pp. 10-13. doi: 10.47566/2017_syv30_1-010010.