Munguia Cevantes, J. E.; Méndez Méndez, J. V.; Mendoza León, H. F.; Alemán Arce, M. Ángel; Mendoza Acevedo, S.; Estrada Vázquez, H. Si3N4 Young’s Modulus Measurement from Microcantilever Beams Using a Calibrated Stylus Profiler. Superficies y Vacio 2017, 30, 10-13.